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拋光機設(shè)備加工設(shè)備及其部件
精密和超精密加工設(shè)備廣泛應(yīng)用于各種加工設(shè)備,如各種精密機床、超精密機床、激光加工機床、精密電火花加工機床、離子束加工機床、以及涂層、涂層等加工設(shè)備。對于切削設(shè)備而言,以超精密車床為代表的機床,用于加工各種軸類、圓盤類和曲面類零件等的研磨拋光機仍是一種重要的精密加工設(shè)備,用于加工圓柱、孔類、平面類的精密加工需要。總之,精密加工和超精密加工設(shè)備應(yīng)具有以下要求: (1)精度高,包括靜態(tài)精度和動態(tài)精度高,主要性能指標(biāo)是幾何精度、運動精度(定位精度、重復(fù)定位精度)和分辨率,如主軸回轉(zhuǎn)精度、導(dǎo)軌運動精度、分度精度等。目前,超精密車床的主軸回轉(zhuǎn)精度大多為0.02 ~ 0.03 um,導(dǎo)軌直線度為0.025萬,定位精度為0.013 pm,重復(fù)定位精度為0.006 pm,進給分辨率為0.003 pm,精度為0.5 pm?,F(xiàn)代精密機床和超精密機床大多采用靜壓軸承或空氣靜壓軸承主軸和導(dǎo)軌,精密滾珠絲杠傳動,配有微型工作臺、誤差補償裝置,實現(xiàn)微位移。對于高速旋轉(zhuǎn)的零件,零件應(yīng)是動平衡的。
高剛度包括靜剛度和動剛度。除了考慮零件的剛度外,還應(yīng)考慮接觸剛度,以及由工件、機床、刀具和夾具組成的加工系統(tǒng)的剛度。精密機床和超精密機床的切削力雖然很小,但機床的變形對精度影響很大。(三)運輸、貯存、安裝、調(diào)試后,在規(guī)定的工作環(huán)境下使用,具有高度穩(wěn)定性和可維護性的設(shè)備,應(yīng)能長期保持其準(zhǔn)確性、抗干擾性和穩(wěn)定性。因此,加工設(shè)備應(yīng)具有良好的耐磨性、抗振性、熱穩(wěn)定性。(4)高度自動化為了確保加工質(zhì)量和減少人為因素的影響,現(xiàn)代精密機床和超精密機床都配備了精密數(shù)控系統(tǒng)來實現(xiàn)自動控制,或者利用電腦控制來實現(xiàn)自適應(yīng)控制、優(yōu)化,以確保零件的生產(chǎn)和加工要求。
精密加工和超精密加工設(shè)備與其基本零部件密切相關(guān)。一方面,只有優(yōu)秀的基礎(chǔ)零部件才能擁有優(yōu)秀的加工設(shè)備,因此,世界各國都十分重視基礎(chǔ)零部件的開發(fā)和研究,以不斷提高精密加工和超精密加工設(shè)備的水平,擴大其應(yīng)用范圍,優(yōu)秀的基礎(chǔ)零部件系列能夠快速響應(yīng)市場需求,縮短精密加工和超精密加工設(shè)備的開發(fā)周期。目前,主軸及其軸承、導(dǎo)軌及其滾動部件(滾動直線導(dǎo)軌)、滾珠絲杠、光柵、激光檢測裝置、微位移裝置、分度轉(zhuǎn)臺等基本部件和零件發(fā)展迅速,出現(xiàn)了主軸單元、進給單元等部件形式。主軸單元包括主軸、軸承、電機和主軸箱,形成獨立機構(gòu),主軸與電機軸均為一體,電機為變頻電機,無級調(diào)速,代替整個主軸部件,進給單元是導(dǎo)軌、滾珠絲杠、伺服電機、位置檢測等共同獨立運動。近年來出現(xiàn)了直線電機進給伺服單元,簡稱直線電機、直線電機、滾動導(dǎo)軌和光柵檢測裝置組合成一個獨立的機構(gòu),可以直接獲得直線運動,不需要從旋轉(zhuǎn)到直線運動的連接。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單,精度高,可廣泛應(yīng)用于各種機床和加工中心。
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